お知らせノート:TEMホルダ故障(2024/07/09)

現在JEM-ARM200F(Wコレクタ)用の強化仕様2軸傾斜Beホルダが故障中です。

  • 試料ステージが外れかけて傾いています。
    • Yチルトの回転軸がややズレているような印象
  • 現在修理依頼中です
  • 原因は不明ですが以下のような可能性が想定されます。
    • 経年(約10年)でパーツが劣化した
    • 試料の脱着時に試料ステージに強い力が加わった
      • ドライバーやピンセットで強く押した
    • ホルダを傾斜(特にY軸)したままホルダの挿抜を行った。
      • ホルダと対物レンズが干渉した。
    • メカリミットアラームが発生している場合(ホルダと対物レンズが接触している)状態で、ホルダを動かした