オスミウムコータ NEOC-PRO メイワフォーシス NEOC-PROチャンバー寸法:Φ150 × 70㎜複数個サンプル同時処理可能試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。参考:製品情報 (外部サイト)