メイワフォーシス　NEOC-PRO

チャンバー寸法：Φ150 × 70㎜

複数個サンプル同時処理可能

試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。

チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。

参考：製品情報　（外部サイト）