オスミウムコータ NEOC-PRO

メイワフォーシス NEOC-PRO

チャンバー寸法:Φ150 × 70㎜

複数個サンプル同時処理可能

試料表面に金属オスミウム皮膜を製膜。

チャージアップ対策・スパッタコータと比較して低ダメージ、短時間処理。

参考:製品情報 (外部サイト)

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