JEM-2100plus：技能講習：初級2

💡 本日の内容

1. 試料汚染防止装置（ACD）

   💡 集束ビームを使用する場合（STEM/EDS）やその場観察におけるコンタミ防止。 LN2コールドフィンガーで試料周辺のガスをトラップする。

   1. LN2補給
   2. ACDヒート

   💡 真空度を上げるためではなく、あくまでもコンタミ対策。

2. アライメントファイル

   💡 偏向系設定の復元・保存。

   1. 設定ファイル読み込み
   2. 設定ファイル保存
3. 特殊像観察

   💡 基本的なTEM像の表示

   1. 明視野像（復習）

      💡 （小さい）対物絞りで光軸上の透過波を選択して結像

      1. 通常の像観察（スクリーン）
      2. 明視野像表示
         1. 制限視野絞り挿入／SA絞りセンタリング
         2. 回折パターン表示/透過波センタリング（PL）
         3. 対物絞り挿入／OLセンタリング
         4. 明視野像表示／倍率／明るさ調整
      3. CCD観察／撮影
   2. 暗視野像（軸上）

      💡 Beam Tlitで光軸上へ移動させた回折波を、対物絞りで選択して結像

      1. SA-DIFF表示（スクリーン）
      2. 透過波センタリング（PL）
      3. DarkTilt:回折スポット－＞スクリーン中央へ　（Dark Tilt）
      4. 対物絞り挿入／OLセンタリング
      5. 暗視野像表示／倍率／明るさ調整
      6. CCD観察／撮影
   3. 暗視野像（軸外）

      💡 光軸外の回折波を、対物絞りで選択して結像

      1. SA-DIFF表示（スクリーン）
      2. 対物絞り挿入／回折スポット選択
      3. 暗視野像表示／倍率／明るさ調整
      4. CCD観察／撮影
4. 極微電子回折

   💡 電子線を試料上で収束し、微小領域（制限視野絞りのサイズ以下）からの電子回折パターンを取得

   1. 簡易的方法
      1. 通常のTEM照射モードにおいて、小さなCL絞りとスポットサイズを選択し、試料上にビームを集束。
   2. NBD/CBD
      1. 専用のプローブ照射モードを用いて、試料上にビームを集束。
5. STEM

   💡 STEM像の観察と取得

   1. ハードウェア
   2. TEM CENTER
   3. STEM-BF
   4. STEM-DF