試料セット～ビーム発生・停止～試料取り外し
- 加速電圧印加
- （参照）加速電圧設定
- 加速電圧をスタンバイ（160ｋV）から運転状態（200ｋV）に変更
- 試料セット
- （参照）試料セット（1軸傾斜ホルダ・2軸傾斜ホルダ）
- 試料破損注意
- ホルダ破損注意
- クリーニング
- （参照）試料クリーニング
- イオンクリーナーで試料をクリーニングする。
- 試料破損注意
- 試料ホルダ挿入
- （参照）試料ホルダ挿入
- 真空度悪化注意
- ホルダ・ポールピース・絞り破損注意
- 電子線発生
- （参照）電子線発生・停止（基礎）
- Filament Onで電子線を発生させる。
- 電子線停止
- （参照）電子線発生・停止（基礎）
- Filament Offで電子線を停止させる。
- 試料ホルダ引抜き
- （参照）試料ホルダ引抜き
- 真空度悪化注意
- ホルダ・ポールピース・絞り破損注意
- 試料取り外し
- （参照）試料セット（1軸傾斜ホルダ・2軸傾斜ホルダ）
- 試料破損注意
- ホルダ破損注意
- スタンバイ
- （参照）加速電圧設定
- 加速電圧を運転状態（200ｋV）からスタンバイ（160ｋV）に変更
