JEM-2100plus：照射系調整

|

💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

💡 基本的な軸調整は管理者によって済んでいるものとする。

BRIGHTNESS 調整

  1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 明るさ調整
    1. 一旦時計方向に回しきり（最大励磁・警報音が鳴る）、反時計方向へ戻す（収束させる）。
      1. 時計方向：CL3の励磁が強まる：焦点距離が短くなる
        1. 回しきるとビームが発散する（暗くなる）・
      2. 反時計方向：CL3の励磁が弱まる：焦点距離が長くなる
        1. 回しきるとビームが発散する（暗くなる）
  2. 明るさ：粗微調整選択
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS：CRS]　選択中はバックライトが点灯し、変化速度がｘ16となる。
  3. 明るさ確認
    1. スクリーン上の見た目で確認
    2. [TC：TEM System Task Bar : SCREEN]　

ビームセンタリング

  1. [PANEL-R : STD FOCUS]　対物レンズ基準電流呼び出し
    1. 念のため
  2. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
  3. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 明視野照射モード選択
  4. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを蛍光板中心へ移動する

コンデンサレンズ非点補正

  1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
  2. [PANEL-L : DEF/STIG :　COND STIG] コンデンサレンズ非点調整モード選択
  3. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]（Cond STIG）スポット形状を真円に近づける。

SPOT SIZE／α選択（TEMモード ）

  • SPOT SIZE：電子線を最も収束したときの電子線の大きさ
    • 小さいと明るい
  • α： 電子線を試料上で絞った際の収束角。（平行照射領域の広さ）
  1. [PANEL-R : STD FOCUS]　対物レンズ基準電流呼び出し
    1. 念のため
  2. [PANEL-L : PROBE CONTROL : SPOT SIZE] SPOT SIZE設定（1～5：通常：2）
  3. [PANEL-L : PROBE CONTROL : αSELECTOR] 収束角（照射範囲）設定（1～9：通常：2）
  4. ビームセンタリング・コンデンサレンズ非点補正を行う（必要な場合）

GunTilt調整（簡易）

💡 GUNから放出される電子線を光軸に沿って試料に真っ直ぐ入射させる。 他の光学系は良く調整されていると仮定している。

  1. [PANEL-R : Function : MAG1] 像観察モードへ
    1. [PANEL-L : APERTURE CONTROL :OL(OPEN)] 対物絞り：OPEN
    2. [HCA] ハイコントラスト対物絞り：OPEN
    3. [SA] 制限視野絞り：OPEN
  2. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定　（通常：ｘ5000程度）
  3. [PANEL-R : STD FOCUS]　対物レンズ基準電流呼び出し
    1. 念のため
  4. ビームセンタリング
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
    2. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでセンタリング
  5. GUN TILT調整
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Alignment Panel（未表示の場合）
      1. Alignment Panel (for JEM Administrators) が表示される。
    2. [TC : Alignment Panel : Deflector :GUN Align ] GUN アライメントモード選択
    3. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]　Beam Tiltでビームを最も明るくする。

集束レンズ軸合せ

💡 SPOT SIZE を変更した際のビームの逃げを低減する。

  1. GUN Tilt を調整しておく。（必要な場合）
  2. [PANEL-R : Function : MAG1] 像観察モードへ
    1. [PANEL-L : APERTURE CONTROL :OL(OPEN)] 対物絞り：OPEN
    2. [HCA] ハイコントラスト対物絞り：OPEN
    3. [SA] 制限視野絞り：OPEN
  3. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定　（通常：50K程度）
  4. [PANEL-R : STD FOCUS]　対物レンズ基準電流呼び出し
    1. 念のため
  5. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 蛍光板上でビームを絞る。
  6. SPOT SIZE 1で調整
    1. [PANEL-L : PROBE CONTROL : SPOT SIZE]　1を選択
    2. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Alignment Panel（未表示の場合）
      1. Alignment Panel (for JEM Administrators) が表示される。
    3. [TC : Alignment Panel : Deflector :GUN Align ] GUN アライメントモード選択
    4. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを蛍光板中心へ移動する
  7. SPOT SIZE 5で調整
    1. [PANEL-L : PROBE CONTROL : SPOT SIZE]　5を選択
    2. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    3. [PANEL-L/R: SHIFT-X/Y]　Beam Shiftでビームを蛍光板中心へ移動する
  8. [SPOT SIZE 1で調整],[SPOT SIZE 5で調整]を繰り返す

集束絞りセンタリング

（参照）JEM-2100plus：絞り操作　集束絞り

💡 BRIGHTNESS を変化させた時に、ビームが同心円状に変化しない（スイングする）場合は集束絞りが光軸からずれているので上記を参照に調整する。