JEM-2100plus:電流軸・電圧軸調整

電流軸(電流中心)合わせ

💡 対物レンズの電流(Focus)を変化させた際に像が蛍光板中心から動かないようにする

対物レンズの励磁電流に変動を与えたとき電顕像が渦巻状に拡大縮小する。その拡大縮小の中心をいう。電流軸の中心を二段偏向系を使って像観察用の蛍光板の中心に合わせることを電流軸合わせという。対物レンズの電流変動は小さいので、普通は電圧軸合わせを行って電流軸合わせは行わない。(JEOL 透過電子顕微鏡 基本用語集より引用)

  1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード中
  2. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定 適当な倍率(例:x100K)
  3. ビームセンタリング
  4. 焦点合わせ(粗・精密)
    1. [PANEL-R : STD FOCUS] 基準電流呼び出し
    2. [PANEL-R : Z△▽] 試料高さ(Z)調整:最もコントラストを低くする
    3. [PANEL-R : OBJ FOCUS] 正焦点付近の見やすい焦点に調整する
  5. Brightness調整
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 観察しやすい明るさ:スクリーンと同程度までビームを広げる
  6. [TB] トラックボールで観察対象(目印)を蛍光板中心へ移動
  7. 対物レンズWobbler On
    1. [TEM Center:上部メニュー]  Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) が表示される。
    2. [TC : Wobbler Controller : Object Lens] On
    3. 対物レンズの励磁が変動し、像が伸縮する
  8. 電流軸合わせ
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y] Beam Tiltで像の伸縮の中心と蛍光板中心が一致するように調整。
  9. 対物レンズWobbler Off
    1. [TC : Wobbler Controller : Object Lens] Off

電圧軸(電圧中心)合わせ

💡 加速電圧を変化させた際に像が蛍光板中心から動かないようにする.

高圧ウォブラで加速電圧に変動を加えたとき電顕像が渦巻状に拡大縮小する。その拡大縮小の中心をいう。電圧軸の中心を二段偏向系を使って像観察用の蛍光板の中心に合わせることを電圧軸合わせという。高圧の変動は小さいので(10-6以下)、高圧変動を対象とした調整というより試料による非弾性散乱(プラズモン散乱)を対象とした調整といえる。10万倍以下の中倍率の像の場合に必要な軸合わせ。 (JEOL 透過電子顕微鏡 基本用語集より引用)

  1. [PANEL-R : Function : MAG1]像観察モード中
  2. [PANEL-R : MAG/CAM L] 倍率設定 適当な倍率(例:x100K)
  3. ビームセンタリング
  4. 焦点合わせ(粗・精密)
    1. [PANEL-R : STD FOCUS] 基準電流呼び出し
    2. [PANEL-R : Z△▽] 試料高さ(Z)調整:最もコントラストを低くする
    3. [PANEL-R : OBJ FOCUS] 正焦点付近の見やすい焦点に調整する
  5. Brightness調整
    1. [PANEL-L : BRIGHTNESS] 観察しやすい明るさ:スクリーンと同程度までビームを広げる
  6. [TB] トラックボールで観察対象(目印)を蛍光板中心へ移動
  7. HT Wobbler On
    1. [TEM Center:上部メニュー]  Control → Wobbler
      1. Wobbler Controller (for JEM Administrators) が表示される。
    2. [TC : Wobbler Controller : HT] または[PANEL-R:HT WOBB]On
    3. 加速電圧が変動し、像が伸縮する
  8. 電圧軸合わせ
    1. [PANEL-L : DEF/STIG : BRIGHT TILT] 又は [TC : Alignment Panel : Deflector : Bright Tilt ]明視野照射モード選択
    2. [PANEL-L/R: DEF/STIG-X/Y]  Beam-Tiltで像の伸縮の中心と蛍光板中心が一致するように調整。
  9. HT Wobbler Off
    1. [TC : Wobbler Controller : HT] または[PANEL-R:HT WOBB] Off

💡 電圧軸or電流軸