JEM-2100plus 試料セット（1軸傾斜ホルダ）

💡 試料・試料ホルダは破損しやすい為、丁寧に取り扱うこと。

試料取り付け

準備
1. 試料ホルダー台をデジタル顕微鏡（もしくは実体顕微鏡）下に設置する。
2. 工具類を作業しやすい位置にまとめておく。
  1. ピンセット
  2. 精密ピンセット
  3. 真空ピンセット
  4. 専用ドライバー
  5. シリコンマット（試料一時置き場）
3. デジタル顕微鏡の電源をOnにし、試料交換台にフォーカスを合わせておく。
試料準備
1. 試料の状態
  1. 十分に乾燥していること。（真空を悪化させ無い為）
  2. 十分固定されていること。（鏡筒内で破損しないため・観察中にドリフとしない為）
  3. 磁化が小さいこと（対物レンズの磁界の影響を受けないようにするため）
  4. 観察対象部位周辺が十分に薄い（100nm以下）と考えられること。
2. 試料を取り出し、シリコンマット上に仮置きしておく。
  1. ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
    1. 薬包紙等においてもよい。
    2. グリッドケースから直接取り出してもよい。（精密ピンセット使用時）
ホルダ準備
1. 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。（ここでは1軸ホルダ）
  1. ホルダステーションの電源On
  2. バルブOpen
    1. 大気リークされるまで待つ。
  3. ホルダ取り出し。
2. 試料ホルダー台にホルダをセットする。（ホルダ先端を試料交換台に載せる）
3. ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
4. ホルダステーションの真空引き
  1. ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
  2. [EVAC]ボタンを押す
    1. TMP　MONITORを確認
      1. ACC　が点灯する
      2. RUNNING　が点灯するまで待つ。
  3. バルブClose
  4. ホルダステーションの電源Off
試料搭載
1. 試料カートリッジ（ホルダ先端）取り外し
  1. カートリッジ取り外し工具で固定を解除し、
  2. ピンセットでカートリッジをとりはずし、
  3. シリコンマット上に仮置きする。
2. 専用ドライバーで固定ネジを緩める（3回転）。
  💡 回しすぎるとネジが外れる。十分緩めないと、プレート押さえバネが動かない。
3. 精密ピンセットで試料押さえプレートを回転させる。
4. 試料をホルダ先端に載せる。
  - （観察面を下向き）
5. 精密ピンセットで試料押さえプレートを試料の上へ回転させる。）
6. 専用ドライバーで固定ネジを締める。（2箇所）
  💡 強く締めすぎないこと。（丁度の強さ）緩んでいないこと
7. 試料カートリッジ（ホルダ先端）取り付け
  1. カートリッジ取り外し工具で固定を解除し、
  2. ピンセットでカートリッジをとり取り付ける。

試料取り外し

💡 試料取り付けと逆の手順

鏡筒から試料ホルダを引き抜く
試料ホルダー台にホルダをセットする。（ホルダ先端を試料交換台に載せる）
ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
試料取り外し
1. 試料カートリッジ（ホルダ先端）取り外し
  1. シリコンマット上へ仮置き
2. 専用ドライバーで固定ネジを緩める（3回転）。
3. 精密ピンセットで試料押さえプレートを回転させる。
4. 試料を取り外す。
  1. 取り外した試料はケースに戻しておく
5. 精密ピンセットで試料押さえプレートを元の位置に戻す。
6. 専用ドライバーで固定ネジを締める。（2箇所）
7. 試料カートリッジ（ホルダ先端）取り付け
ホルダステーションにホルダを戻す。
1. ホルダステーションの電源On
2. バルブOpen
  1. 大気リークされるまで待つ。
3. ダミープラグを抜く。
4. ホルダを挿入する
5. ホルダステーションの真空引き
  1. ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
  2. [EVAC]ボタンを押す
    1. TMP　MONITORを確認
      1. ACC　が点灯する
      2. RUNNING　が点灯するまで待つ。
  3. バルブClose
  4. ホルダステーションの電源Off