💡 試料・試料ホルダは破損しやすい為、丁寧に取り扱うこと。
試料取り付け
- 準備
- 試料ホルダー台をデジタル顕微鏡(もしくは実体顕微鏡)下に設置する。
- 工具類を作業しやすい位置にまとめておく。
- 精密ピンセット
- 真空ピンセット
- 専用ドライバー
- シリコンマット(試料一時置き場)
- デジタル顕微鏡の電源をOnにし、試料交換台にフォーカスを合わせておく。
- 試料準備
- 試料の状態
- 十分に乾燥していること。(真空を悪化させ無い為)
- 十分固定されていること。(鏡筒内で破損しないため・観察中にドリフとしない為)
- 磁化が小さいこと(対物レンズの磁界の影響を受けないようにするため)
- 観察対象部位周辺が十分に薄い(100nm以下)と考えられること。
- 試料を取り出し、シリコンマット上に仮置きしておく。
- ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
- 薬包紙等においてもよい。
- グリッドケースから直接取り出してもよい。(精密ピンセット使用時)
- ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
- 試料の状態
- ホルダ準備
- 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。(ここでは2軸ベリリウムホルダ)
- ホルダステーションの電源On
- バルブOpen
- 大気リークされるまで待つ。
- ホルダ取り出し。
- ステージのY軸傾斜が0であることを確認。(ホルダを直接見て確認)
💡 ステージが傾斜している場合は、ホルダー台に載せない。 ホルダ破損の恐れ。
- 試料ホルダー台にホルダをセットする。(ホルダ先端を試料交換台に載せる)
- ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
- ホルダステーションの真空引き
- ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
- [EVAC]ボタンを押す
- TMP MONITORを確認
- ACC が点灯する
- RUNNING が点灯するまで待つ。
- TMP MONITORを確認
- バルブClose
- ホルダステーションの電源Off
- 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。(ここでは2軸ベリリウムホルダ)
- 試料搭載
- 専用ドライバーで固定ネジを緩める(3回転)。
💡 回しすぎるとネジが外れる。 十分緩めないと、プレート押さえバネが動かない。
- 精密ピンセットでプレート押さえバネを試料固定プレート上から動かす。
- 試料固定プレートおよび、スペーサーを取り外し、シリコンマット上へ仮置きする。
- (精密ピンセット・真空ピンセットを使用する)
- 真空ピンセットを使用し、試料をホルダ先端に載せる。
- (観察面を下向き)
- 試料の上にスペーサーを載せる。
- (試料厚さが100um以上の場合は不要。)
- スペーサーの上に試料固定プレートを載せる。
- プレート押さえバネを試料固定プレート上へ移動させる。(2箇所)
- 専用ドライバーで固定ネジを締める。(2箇所)
💡 強く締めすぎないこと。(丁度の強さ) 緩んでいないこと
- 専用ドライバーで固定ネジを緩める(3回転)。
試料取り外し
💡 試料取り付けと逆の手順
- 鏡筒から試料ホルダを引き抜く
- 試料ホルダー台にホルダをセットする。(ホルダ先端を試料交換台に載せる)
- ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
- 試料取り外し
- 専用ドライバーで固定ネジを緩める(3回転)。
- 精密ピンセットでプレート押さえバネを試料固定プレート上から動かす。
- 試料固定プレートおよび、スペーサーを取り外し、シリコンマット上へ仮置きする。
- 試料をホルダ先端から試料を取り外しシリコンマットへ載せる。
- 直接グリッドケースへもどしても良い。
- ホルダ先端にスペーサーを載せる。
- スペーサーの上に試料固定プレートを載せる。
- プレート押さえバネを試料固定プレート上へ移動させる。(2箇所)
- 専用ドライバーで固定ネジを締める。(2箇所)
- ホルダステーションにホルダを戻す。
- ホルダステーションの電源On
- バルブOpen
- 大気リークされるまで待つ。
- ダミープラグを抜く。
- ホルダを挿入する
- ホルダステーションの真空引き
- ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
- [EVAC]ボタンを押す
- TMP MONITORを確認
- ACC が点灯する
- RUNNING が点灯するまで待つ。
- TMP MONITORを確認
- バルブClose
- ホルダステーションの電源Off