JEM-2100plus 試料ホルダ挿入

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  1. ホルダ挿入前確認（TEM本体）
    1. 試料ホルダが挿入されていない
    2. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Beam
      • Beam Controller (for JEM Administrators) を表示
      • 加速電圧・エミッションを確認
    3. [TEM Center：上部メニュー] 　View → Valve/Vacuum Monitor
      • Valve/Vacuum Monitor　を表示
      • 真空度を確認
    4. [TEM Center：上部メニュー] 　View → Condition Monitor
      • Condition Monitorを表示
      • アラームを確認
    5. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Aperture
      • Aperture Panel Controllerを表示
      • インギャップ対物レンズ絞りを引き抜く
      • Hole Diameter Selectで[OPEN]を選択
    6. [TEM Center：左側TEM System Task Bar] Stage
      • ステージ位置・傾斜を確認
  2. ホルダ挿入前確認（試料・ホルダ）
    1. 試料確認
      1. 試料が正しく固定され、動かないこと。
      2. 試料近傍に皮脂やホコリ等の付着がないこと。
      3. 必要な場合はイオンクリーニングを行っていること。
    2. ホルダ確認
      1. ホルダ先端が破損・変形していないこと。
      2. Oリングにホコリが付着していないこと。キズがないこと。
      3. （2軸ホルダーの場合）Y傾斜が0であること。
        1. TEMセンター上の値と、実際のステージの傾きの両方を確認
  3. ホルダ挿入
    1. ホルダのハンドルと、Oリングの手前を両手でもち、ガイドピンの向きを合わせ、ゴニオメーターに真っ直ぐ挿入する。
      1. 止まるまで押し込み、手は添えたままににする。
      2. この位置で、挿入検知用のスイッチが動作する。（回転させると解除されるので、手を動かさないこと）
    2. ゴニオメーター:PUMP/AIRスイッチをPUMPに切り替える。
      1. 試料前室が排気される。
      2. 緑ランプが点灯し、PiG4がEvacReady（緑色）になるまで待つ。
    3. ホルダを挿入する
      1. 時計回りにホルダを（小さく）回す。（止まるまで）
      2. ホルダが引き込まれる。（少し）
      3. 時計回りにホルダを（大きく）回す。（止まるまで）
      4. ホルダが（大きく）引き込まれる。（止まるまで手を離さないこと）
      5. （2軸ホルダの場合）Y軸傾斜用のケーブルを接続する。

      💡 上記の作業では

    4. ホルダを選択する
      1. ホルダを挿入すると、Specimenペインが表示される。
        • [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Specimen
      2. Specimen Holderのドロップダウンリストで挿入したホルダを選択する。
      3. [OK]ボタンをクリック
        • ホルダごとにステージの移動・傾斜範囲がことなるため、必ず挿入したホルダを選択する。
    5. 真空の回復を待つ
      1. Penning Gauge　20以下
      2. SIP　10^-5Pa台

マニュアル動画（youtube channel）