JEM-2100plus : 試料移動・傾斜

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💡 本ページはJEM-2100plusのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

💡 試料移動と傾斜

試料移動（モーター駆動）（X/Y）

  1. [TC：TEM System Task Bar : Stage：X/Y] 試料位置確認
  2. [TC：TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
    1. ▶⇒▶▶⇒▶▶▶　の順で速くなる
  3. [TB：トラックボール] で試料移動
    1. [TB : SHIFT +X/-X/+Y/-Y]ボタンで各軸毎に独立して移動
  4. 粗微動（移動速度）切替
    1. [TB：CRS] で切替。点灯時：粗動
    2. [TB：CRS] は試料移動（SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y）・試料傾斜共通
  5. 試料位置（X/Y）初期化
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → STAGE
    2. Stage Controller を表示
    3. [XY Neutral] を選択
    4. [TC：TEM System Task Ba : Stager] で確認

試料移動（ピエゾ駆動）（SFX/SFY）

  1. [TC：TEM System Task Bar : Stage：SFX/SFY] 試料位置確認
    1. X/Yを基準にした相対位置。～±100％(0.2um)
  2. [TB：SUPER FINE] ピエゾ駆動モード切替：点灯時On
  3. [TC：TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
    1. ▶⇒▶▶⇒▶▶▶　の順で速くなる
  4. [TB：トラックボール]もしくは[TB : SHIFT +X/-X/+Y/-Y]で試料移動
  5. 粗微動（移動速度）切替
    1. [TB：CRS] で切替。点灯時：粗動
    2. [TB：CRS] は試料移動（SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y）・試料傾斜共通
  6. 試料位置（SFX/SFY）初期化
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → STAGE
    2. Stage Controller を表示
    3. [SuperFIine Neutral] を選択
    4. [TC：TEM System Task Ba : Stager] で確認

試料傾斜（TX/TY）

  1. [TC：TEM System Task Bar : Stage：TX/TY] 試料傾斜確認
  2. [TC：TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
    1. ▶⇒▶▶⇒▶▶▶　の順で速くなる
  3. [SC : TILT +X/-X/+Y/-Y] ボタンで試料傾斜
  4. 粗微動（移動速度）切替
    1. [TB：CRS] で切替。点灯時：粗動
    2. [TB：CRS] は試料移動（SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y）・試料傾斜共通
  5. 試料傾斜（TX/TY）初期化
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → STAGE
    2. Stage Controller を表示
    3. [TX/TY Neutral] を選択
      1. 軸毎に初期化
    4. [TC：TEM System Task Ba : Stager] で確認

試料移動（Z）

  1. [TC：TEM System Task Bar : Stage：Z] 試料高さ確認
  2. [TC：TEM System Task Bar : Stage] 移動速度選択
    1. ▶⇒▶▶⇒▶▶▶　の順で速くなる
  3. [SC :△Z/▽Z] ボタンで試料高さ移動
  4. 粗微動（移動速度）切替
    1. [TB：CRS] で切替。点灯時：粗動
    2. [TB：CRS] は試料移動（SHIFT-X/Y/Z:TILT-X/Y）・試料傾斜共通
  5. 試料傾斜（Z）初期化
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → STAGE
    2. Stage Controller を表示
    3. [Z Neutral] を選択
    4. [TC：TEM System Task Ba : Stager] で確認

ステージ初期化

  1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → STAGE
  2. Stage Controller を表示
  3. [Srtage Neutral] を選択
  4. [TC：TEM System Task Ba : Stager] で確認

ステージ位置記憶・再生

  1. 試料位置記憶
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Nanospace Map
      1. Nanospace Mapを表示
      2. [Memory] ボタンをクリック
      3. 試料位置記憶リストに現在のホルダ位置が記憶される。
        1. SFX/SFYは記憶されない
        2. 必要な場合はMemo欄にコメントを追記
  2. 試料位置再生
    1. [TEM Center：上部メニュー] 　Control → Nanospace Map
      1. Nanospace Mapを表示
      2. 試料位置記憶リストから試料位置を選択
      3. 試料位置情報表示領域に詳細情報が表示される
      4. [Go] ボタンをクリック
      5. 試料位置が再生される。
        1. 再生が完了するまで待つ。
        2. 再生中は[TB]や[SC]を操作しない。